稀有金属

1998, (03) 3-5

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MOCVD化合物半导体材料及其应用
MOCVD Compound Semiconductor Materials and their Applications in China

彭瑞伍,胡金波

摘要(Abstract):

总结了我国在MOCVD化合物半导体材料方面的最新进展,重点为MOCVD化学、ⅢⅤ族和ⅡⅥ族半导体材料及其在光电和微波器件中的应用。为进一步发展我国的MOCVD材料提出了若干建议。

关键词(KeyWords): 金属有机物化学气相沉积(MOCVD),MOCVD半导体材料,MOCVD半导体器件

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 彭瑞伍,胡金波

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